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Teaching

Bachelor

  • Sensor und Sensorsysteme (366.071)
    Die Vorlesung teilt sich in 3 Abschnitte auf: im ersten werden Schlüsseltechnologien zur Herstellung von MEMS (micro electromechanical systems) Sensoren kompakt vorgestellt. Diese umfassen PVC (physical vapor deposition) and CVD (chemical vapor deposition) basierte Schichtabscheideverfahren als auch Grundlagen zur optischen Lithographie und zur Ätztechnik. Im zweiten Abschnitt werden an Hand von typischen Sensoren für physikalische Messgrößen, wie Druck, Beschleunigung, Drehrate, Fluss und Temperatur, deren grundsätzliches Funktionsprinzip erläutert, unterschiedliche Umsetzungskonzepte bewertet und gängige Anwendungsgebiete aufgezeigt. Im dritten Abschnitt werden ausgewählte Einzelsensoren zu Systemen erweitert und im Umfeld von bekannten technischen Systemen, wie dem Automobil oder dem Flugzeug vorgestellt. Auch aktuelle Aspekte, wie die lokale Energieversorgung von Sensorknoten aus der Umgebung (energy harvesting), werden angesprochen. Es ist ein zentrales Ziel der Vorlesung, ein grundsätzliches Verständnis von der Realisierung bis zur Systemintegration von ausgewählten, mikrotechnisch hergestellten Sensorelementen und -systemen zu schaffen. Die Vorstellung und Diskussion ausgewählter Beispiele zu aktuellen Forschungsthemen aus dem Bereich Sensorik runden die Vorlesung ab.

  • Werkstoffe (366.029)
    Kennenlernen und Analysieren von Zusammenhängen zwischen Aufbau und Eigenschaften von Werkstoffen anhand einfacher und weitgehend universell gültiger physikalischer Modellbilder. Aneignen von Grundkenntnissen über Größenordnungen der betreffenden Werkstoffeigenschaften.

 

Master

  • Nanoelectromechanical Systems (366.102)
    Nanoelectromechanical systems (NEMS) have been developed for a bit more than two decades now. NEMS are the continuation of Microelectromechanical Systems (MEMS), which have become omnipresent helpers in smart phones, cars, watches, etc. The two driving forces for NEMS research have been improved sensor technology and fundamental research. This course introduces the latest models and skills required to design and optimise nano electromechanical resonators, taking a top-down approach that uses macroscopic formulas to model the devices. The course covers the electrical and mechanical aspects of NEMS devices. The introduced mechanical models are also key to the understanding and optimisation of nanomechanical resonators used e.g. in optomechanics.

  • Sensors (366.092)
    The lecture presents a survey of the most important sensors  and of new sensor developments: Sensors for mechanical quantities, chemical sensors, magnetic sensors. The various sensors are discussed with respect to their function, technology and possible applications. The lecture refers to the actual state of the art of microelectronic sensor technologies. The course consists of a lecture part and a practical part.